步研科技系列平臺：為激光微加工提供精密多自由度定位平臺；為激光調焦，以及光速擺動調制提供快速反射鏡；為激光切割提供Z向運動平臺、為激光直寫光刻提供定制多自由度運動平臺和控制系統(tǒng)。隨著微電子技術的不斷發(fā)展，線條越來越細化，線寬已縮小到1.25mm 左右，甚至更細。但是線條不可能無限細化，因為當線寬尺寸趨近分子尺度時，由于量子力學效應的增強，除非直接對分子、原子進行裝配，否則很難把裝置做得更小。因此需要納米定位系統(tǒng)，能象機械手那樣捕捉住一個個原子或分子，并把它們組裝到適當?shù)奈恢?。步研科技定位產品所具備的亞納米精度、極好的一致性、納米至亞納米級的平面度和直線度是這些領域最新技術突破的前提。