PT系列簡介
產品特性:壓電偏擺臺的高剛性可實現高動態(tài)性和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。該緊湊型設備常用于激光加工和激光控制中的射束偏轉。在一個固定的公共樞軸點及偏振方向無變化的的情況下,其并聯設計使傾斜軸上的性能一致。
- 商品特性: θxθy、Z+θxθy、θx 軸
咨詢服務熱線:
13162165677
應用于半導體/微細加工/分析儀器/微掃描/生物技術/光學領域 壓電 ● 納米 ● 定位 ● 運動 ● 控制 ● 系統(tǒng) ● 定制 ● 解決方案
應用于半導體/微細加工/分析儀器/微掃描/生物技術/光學領域 壓電 ● 納米 ● 定位 ● 運動 ● 控制 ● 系統(tǒng) ● 定制 ● 解決方案
產品特性:壓電偏擺臺的高剛性可實現高動態(tài)性和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。該緊湊型設備常用于激光加工和激光控制中的射束偏轉。在一個固定的公共樞軸點及偏振方向無變化的的情況下,其并聯設計使傾斜軸上的性能一致。
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13162165677■ 選型指南
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運動軸 | 規(guī)格型號 | 行程范圍 | 分辨率 | 諧振頻率【0g】 | 外形尺寸 |
500”[Sec] ≈2.5mrad | 0.10 μrad | 3000 Hz | 33×14×24 mm | ||
500 ”[Sec] ≈ 2.5 mrad/軸 | 0.10 μrad | 3700 Hz | ?25×38 mm | ||
800 ”[Sec] ≈ 4.0 mrad/軸 | 0.15 μrad | 3500 Hz | ?25×47 mm | ||
1000 ”[Sec] ≈ 5.0 mrad/軸 | 0.20 μrad | 3400 Hz | ?25×56 mm | ||
1300 ”[Sec] ≈ 6.5 mrad/軸 | 0.25 μrad | 3300 Hz | ?25×65 mm | ||
1500 ”[Sec]≈ 7.5 mrad/軸 | 0.25 μrad | 3200 Hz | ?25×74 mm | ||
1800 ”[Sec]≈ 9.0 mrad/軸 | 0.30 μrad | 3100 Hz | ?25×83 mm | ||
2000 ”[Sec]≈ 10 mrad/軸 | 0.35 μrad | 3000 Hz | ?25×92 mm | ||
300 ”[Sec]≈ 1.5 mrad/軸 | 0.05 μrad | 2000 Hz | ?59×38 mm | ||
600 ”[Sec]≈ 3.0 mrad/軸 | 0.10 μrad | 1400 Hz | ?59×56 mm | ||
1200 ”[Sec]≈ 6.0 mrad/軸 | 0.20 μrad | 1000 Hz | ?59×92 mm | ||
5000 ”[Sec]≈ 25 mrad/軸 | 1.50 μrad | 500 Hz | ?90×63 mm | ||
±160”[Sec]≈ ±0.8 mrad/軸 | 0.05 μrad | 300 Hz | 125×125×20 mm | ||
1200 ”[Sec]≈ 6 mrad/軸 | (θxθy)0.4μrad、(Z)2.5nm | 2000 Hz | ?25×56 mm | ||
±160 ”[Sec]≈±0.8mrad/軸 | (θxθy)0.05μrad、(Z)3nm | 400 Hz | 150×150×26.5mm |