PM6H60-S
產(chǎn)品應(yīng)用：光纖光路調(diào)整，精密定位等領(lǐng)域
- 運(yùn)動(dòng)方向： X、Y、Z、θx、θy、θz
- 標(biāo)稱行程： 15x15x15μm，1x1x1mrad
- 外形尺寸： 60x60x50mm
- 承載能力： 500g
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677產(chǎn)品型號(hào) | PM6H60 | PM6H60-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y、Z、θx、θy、θz | X、Y、Z、θx、θy、θz | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | （XYZ）15 μm/軸、（θxθyθz）1 mrad/軸 | （XYZ）15 μm/軸、（θxθyθz）1 mrad/軸 | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | （XYZ）20 μm/軸、（θxθyθz）1 .5 mrad/軸 | （XYZ）20 μm/軸、（θxθyθz）1 .5 mrad/軸 | ±20% | - | |
分辨率 | （XYZ）0.5 nm / 軸、（θxθyθz）0.03 μrad/軸 | （XYZ）0.5 nm / 軸、（θxθyθz）0.03 μrad/軸 | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.15% F.S. / 軸 | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% / 軸 | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 1 ms / 軸 | 5 ms / 軸 | typ. | Note 2 | |
加載階躍時(shí)間@500g | 1 ms / 軸 | 20 ms / 軸 | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz； （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz； | （XYZ）2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz； （θxθyθz）3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz； | ±20% | Note 3 |
500g | （XYZ）170 Hz、170 Hz、530 Hz； （θxθyθz）135 Hz、135 Hz、300 Hz； | （XYZ）170 Hz、170 Hz、530 Hz； （θxθyθz）135 Hz、135 Hz、300 Hz； | |||
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m / 軸 | 1.5 m / 軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 60 × 60 × 50 mm | 60 × 60 × 50 mm | - | - | |
重量 | 420 g | 420 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - | - | |
Note：
1. 指實(shí)際分辨率，為PCM961S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。）。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測得。
