壓電納米定位臺(tái)和促動(dòng)器已經(jīng)在許多非接觸式光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和接觸式納米測(cè)量系統(tǒng)中大量運(yùn)用。壓電納米定位產(chǎn)品所具備的亞納米精度、極好的一致性、納米至亞納米級(jí)的平面度和直線度是這些領(lǐng)域最新技術(shù)突破的前提。通過(guò)應(yīng)用高級(jí)數(shù)字控制方法，掃描線性度可以提高數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)，而跟蹤誤差減小到亞原子水平。電容式納米測(cè)量傳感器可以測(cè)量亞納米范圍的運(yùn)動(dòng)并具有很高的帶寬。

光纖對(duì)接是光纖通訊和光纖傳感中必不可少的復(fù)雜的精微操作。例如芯徑為8 ~ 10mm 的單模光纖和Ti 擴(kuò)散LiNbO3 條形波導(dǎo)(條寬4~ 6mm) 的對(duì)接耦合，以往要求有經(jīng)驗(yàn)的人去做，而且經(jīng)常造成器件報(bào)廢而不得不返修的情況。如果使用納米定位系統(tǒng)完成上述操縱，使光纖和器件之間達(dá)到最佳耦合功率位置。在粘接過(guò)程中不斷校準(zhǔn)，并自動(dòng)補(bǔ)償對(duì)接過(guò)程中產(chǎn)生的誤差，使光波導(dǎo)有最大輸出，既可以降低返修率，又可以縮短生產(chǎn)周期。

壓電促動(dòng)器和納米定位傳感器同時(shí)也是納米壓印/微米壓印機(jī)構(gòu)以及納米摩擦學(xué)/納米制造實(shí)驗(yàn)的理想組件