營銷理念：步研一直堅持“服務(wù)創(chuàng)新”的原則，不斷提高服務(wù)及支持能力，形成了覆蓋全國的服務(wù)支持網(wǎng)絡(luò)，為全國用戶提供及時、周到的服務(wù)。步研秉承“客戶第一，質(zhì)量優(yōu)先”的經(jīng)營理念，把不斷提升客戶滿意度作為追求的目標(biāo)，以便捷通暢的溝通渠道，快速高效的響應(yīng)速度，日臻完善的服務(wù)質(zhì)量為客戶提供滿意的專業(yè)化服務(wù)。上?？偛可虾？偣镜刂罚?中國·上海市徐匯區(qū)虹梅路2008號3幢3層咨詢熱線：021-54668263
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采用壓電陶瓷驅(qū)動的Z向壓電納米定位掃描臺，壓電掃描臺內(nèi)部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電掃描臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。中空式設(shè)計，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677規(guī)格型號1 | PKVL150-100U-S | PKVL150-200U-S | PKVL150-300U-S | 公差8 |
運動軸 | Z | Z | Z | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） | 100 μm | 200 μm | 300 μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 130 μm | 240 μm | 350 μm | ±20% |
分辨率3 | 1.5 nm | 3.5 nm | 5.0 nm | typ. |
最小移動步長4 | 3.5 nm | 7.0 nm | 10 nm | typ. |
線性誤差 | 0.10% | 0.15% | 0.20% | typ. |
重復(fù)定位精度（全行程） | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） | 20 μrad | 20 μrad | 20 μrad | typ. |
承載能力5 | 50 N | 50 N | 50 N | Max. |
諧振頻率（0g） | 320 Hz | 280 Hz | 250 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | 2 N/μm | 1.5 N/μm | 1.0 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | 60N / 20N | 60N / 20N | 60N / 20N | ±20% |
驅(qū)動機構(gòu) | PZT | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | 66 × 66 mm | 66 × 66 mm | 66 × 66 mm | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | - |
重量7 | 1100 g | 1150 g | 1200 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負荷會對柔性機構(gòu)造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。
