產(chǎn)品型號(hào) | PK2L140-100U | PK2L140-100U-S | 公差 | 備注 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y | X、Y | - | - |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - |
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 100 μm x 100 μm | 100 μm x 100 μm | ±10% | - |
最大行程范圍(@-20~+150V) | 130 μm x 130 μm | 130 μm x 130 μm | ±20% | - |
分辨率 | 3.5 nm / 軸 | 3.5 nm / 軸 | typ. | Note 1 |
重復(fù)定位精度 | - | 0.02% F.S. / 軸 | typ. | - |
線性度 | - | 0.02% / 軸 | typ. | - |
空載階躍時(shí)間 | 2 ms | 5 ms | typ. | Note 2 |
承載能力(推薦) | 20 N | 20 N | Max. | - |
諧振頻率 | 0g | (XY)750 Hz | (XY)750 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | (XY)550 Hz | (XY)550 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | (XY)3.3 N/μm | (XY)3.3 N/μm | ±20% | - |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 100N / 20N | 100N / 20N | ±20% | - |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - |
工作溫度范圍 | 0~+50 ℃ | 0~+50 ℃ | - | - |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 |
中空尺寸(LxW) | RMS(可定制60 x 60 mm) | RMS(可定制60 x 60 mm) | Max. |
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外形尺寸(LxWxH) | 140 ×140 ×23.2 mm | 140 ×140 ×23.2 mm | - | - |
重量 | 900 g | 900 g | ±5% | Note 5 |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 |
本體材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | - | - |
Note:尾綴帶“S”的為閉環(huán),尾綴為空為開環(huán)。
1. 指實(shí)際分辨率,為PCM931S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。(另,驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對應(yīng)的分辨率為理論分辨率,因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。即型號(hào)為PCM931S壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電壓紋波噪聲為2mVpp,則對應(yīng)的壓電平臺(tái)的分辨率約為0.8nm)。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率,使用時(shí)應(yīng)避開此頻率,建議在負(fù)載對應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺(tái)體重量包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注:以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測得。