營(yíng)銷理念：步研一直堅(jiān)持“服務(wù)創(chuàng)新”的原則，不斷提高服務(wù)及支持能力，形成了覆蓋全國(guó)的服務(wù)支持網(wǎng)絡(luò)，為全國(guó)用戶提供及時(shí)、周到的服務(wù)。步研秉承“客戶第一，質(zhì)量?jī)?yōu)先”的經(jīng)營(yíng)理念，把不斷提升客戶滿意度作為追求的目標(biāo)，以便捷通暢的溝通渠道，快速高效的響應(yīng)速度，日臻完善的服務(wù)質(zhì)量為客戶提供滿意的專業(yè)化服務(wù)。上海總部上?？偣镜刂罚?中國(guó)·上海市徐匯區(qū)虹梅路2008號(hào)3幢3層咨詢熱線：021-54668263
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? 產(chǎn)品保修體系：（1）保修范圍：通過公司認(rèn)可的渠道銷售的所有我公司產(chǎn)品；（2）保修期限：產(chǎn)品保質(zhì)期為1年，實(shí)行“三包”（3）保修服務(wù)的內(nèi)容：公司授權(quán)工程師在接到客戶提交設(shè)備故障的1個(gè)小時(shí)內(nèi)，通過電話協(xié)助客戶進(jìn)行故障排查。確認(rèn)為產(chǎn)品故障后，立即安排公司工程師進(jìn)行維修（維修時(shí)間不超過20個(gè)工作日）。（4）對(duì)于有質(zhì)量缺陷的產(chǎn)品，自交付之日起30日內(nèi)，為客戶進(jìn)行免費(fèi)更換。
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應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677規(guī)格型號(hào)1 | PK2L130-050U-S | PK2L130-100U-S | 公差8 |
運(yùn)動(dòng)軸 | X、Y | X、Y | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） | 50 μm x 50 μm | 100 μm x 100 μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 65 μm x 65 μm | 130 μm x 130 μm | ±20% |
分辨率3 | 1.0 nm | 2.0 nm | typ. |
最小移動(dòng)步長(zhǎng)4 | 2.0 nm | 3.5 nm | typ. |
線性誤差 | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
重復(fù)定位精度（全行程） | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 20 N | 20 N | Max. |
諧振頻率（0g） | （XY）680 Hz | （XY）630 Hz | ±20% |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 3 N/μm | 3 N/μm | ±20% |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 150N / 15N | 150N / 15N | ±20% |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長(zhǎng)度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | ?30 mm（標(biāo)準(zhǔn)型、可定制） | ?30 mm（標(biāo)準(zhǔn)型、可定制） | - |
外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 130 × 130 × 30 mm | 130 × 130 ×30 mm | - |
重量7 | 900 g | 900 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。
4.指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長(zhǎng)值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長(zhǎng)值。
5.軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6.更長(zhǎng)的線纜長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢。
7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。
單軸位移臺(tái)和電壓的關(guān)系
