營(yíng)銷理念：步研一直堅(jiān)持“服務(wù)創(chuàng)新”的原則，不斷提高服務(wù)及支持能力，形成了覆蓋全國(guó)的服務(wù)支持網(wǎng)絡(luò)，為全國(guó)用戶提供及時(shí)、周到的服務(wù)。步研秉承“客戶第一，質(zhì)量?jī)?yōu)先”的經(jīng)營(yíng)理念，把不斷提升客戶滿意度作為追求的目標(biāo)，以便捷通暢的溝通渠道，快速高效的響應(yīng)速度，日臻完善的服務(wù)質(zhì)量為客戶提供滿意的專業(yè)化服務(wù)。上?？偛可虾？偣镜刂罚?中國(guó)·上海市徐匯區(qū)虹梅路2008號(hào)3幢3層咨詢熱線：021-54668263
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? 產(chǎn)品保修體系：（1）保修范圍：通過(guò)公司認(rèn)可的渠道銷售的所有我公司產(chǎn)品；（2）保修期限：產(chǎn)品保質(zhì)期為1年，實(shí)行“三包”（3）保修服務(wù)的內(nèi)容：公司授權(quán)工程師在接到客戶提交設(shè)備故障的1個(gè)小時(shí)內(nèi)，通過(guò)電話協(xié)助客戶進(jìn)行故障排查。確認(rèn)為產(chǎn)品故障后，立即安排公司工程師進(jìn)行維修（維修時(shí)間不超過(guò)20個(gè)工作日）。（4）對(duì)于有質(zhì)量缺陷的產(chǎn)品，自交付之日起30日內(nèi)，為客戶進(jìn)行免費(fèi)更換。
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應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677產(chǎn)品型號(hào) | PK2L150-100U | PK2L150-100U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y | X、Y | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 100 μm x 100 μm | 100 μm x 100 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 130 μm x 130 μm | 130 μm x 130 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 3.5 nm / 軸 | 3.5 nm / 軸 | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 1 ms | 5 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 20 N | 20 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | （XY）200 Hz、200 Hz | （XY）200 Hz、200 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | （XY）140 Hz、140 Hz | （XY）140 Hz、140 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 3 N/μm | 3 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 150N / 15N | 150N / 15N | ±20% | - | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸 | 66 mm x 66 mm | 66 mm x 66 mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 150 ×150 ×30 mm | 150 ×150 ×30 mm | - | - | |
重量 | 1300 g | 1300 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | - | - | |
Note：尾綴帶“S”的為閉環(huán)，尾綴為空為開環(huán)。
1. 指實(shí)際分辨率，為PCM231S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。即型號(hào)為PCM221S壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電壓紋波噪聲為2mVpp，則對(duì)應(yīng)的壓電平臺(tái)的分辨率約為0.8nm）。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長(zhǎng)度可定制。
5. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。
