規(guī)格型號1 | PT2M32-5000S-S | PT2M32-10000S-S | 公差8 |
運動軸 | θx、θy | θx、θy | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | - |
標稱行程范圍2(@0~+120V) | 5000”[Sec] ≈25 mrad(±12.5mrad) | 10000”[Sec] ≈ 50 mrad(±25mrad) | ±10% |
最大行程范圍2(@-20~+150V) | 6000”[Sec] ≈30 mrad(±15mrad) | 12000”[Sec] ≈60 mrad(±30mrad) | ±20% |
分辨率3 | 0.2 μrad | 0.5 μrad | typ. |
最小移動步長4 | 1.0 μrad | 5 μrad | typ. |
線性誤差 | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
重復(fù)定位精度 | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
承載能力5 | 20g | 20g | typ. |
諧振頻率(12.5x2.5mm鏡片) | 800 Hz | 800 Hz | ±20% |
驅(qū)動機構(gòu) | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
外形尺寸(直徑×H) | Φ32×38 mm | Φ32×38 mm | - |
重量7 | 90 g | 90 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鈦 | 鋁、鈦 | - |
注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測得,欲了解更多信息,請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán),內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V,對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在 0...+120V,更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS(1σ)值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值,它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。
5.軸向載荷,更高的負載請咨詢,注意超出標稱負荷會對柔性機構(gòu)造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值,檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。