壓電偏轉鏡 ∣ PT3V25-1000S
應用領域:圖像處理/穩(wěn)定,光學捕獲,激光掃描/光束偏轉,激光調諧,激光束穩(wěn)定
- 運動方向: Z+θx、θy 軸
- 標稱行程: 30 μm+5.0 mrad、5.0 mrad(閉環(huán))
- 外形尺寸: Φ25×56 mm
咨詢服務熱線:
13162165677
應用于半導體/微細加工/分析儀器/微掃描/生物技術/光學領域 壓電 ● 納米 ● 定位 ● 運動 ● 控制 ● 系統(tǒng) ● 定制 ● 解決方案
應用于半導體/微細加工/分析儀器/微掃描/生物技術/光學領域 壓電 ● 納米 ● 定位 ● 運動 ● 控制 ● 系統(tǒng) ● 定制 ● 解決方案
應用領域:圖像處理/穩(wěn)定,光學捕獲,激光掃描/光束偏轉,激光調諧,激光束穩(wěn)定
咨詢服務熱線:
13162165677規(guī)格型號1 | PT3V25-1000S | PT3V25-1000S-S | 公差8 |
運動軸 | Z+θx、θy | Z+θx、θy | - |
集成傳感器 | - | SGS | - |
標稱行程范圍2(@0~+120V) | (Z)30μm、(θxθy)1000”[Sec] ≈5.0 mrad軸 | (Z)30μm、(θxθy)1000”[Sec] ≈5.0 mrad軸 | ±10% |
最大行程范圍2(@-20~+150V) | (Z)40μm、(θxθy)1200”[Sec] ≈6.0 mrad軸 | (Z)40μm、(θxθy)1200”[Sec] ≈6.0 mrad軸 | ±20% |
分辨率3 | (Z)0.3nm、(θx、θy)0.05 μrad | (Z)0.5nm、(θx、θy)0.1 μrad | typ. |
最小移動步長4 | (Z)1nm、(θx、θy)0.2 μrad | (Z)1nm、(θx、θy)0.2 μrad | typ. |
線性誤差 | - | 0.1% | typ. |
重復定位精度 | - | 0.05 % | typ. |
承載能力5 | ?25mm光學鏡片 | ?25mm光學鏡片 | typ. |
諧振頻率(0g) | 2000 Hz | 2000 Hz | ±20% |
驅動機構 | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
外形尺寸(直徑×H) | Φ25×56 mm | Φ25×56 mm | - |
重量7 | 350 g | 350 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質 | 鋼 | 鋼 | - |
注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測得,欲了解更多信息,請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán),內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V,對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在 0...+120V,更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS(1σ)值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值,它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷,更高的負載請咨詢,注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值,檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。