壓電旋轉(zhuǎn)臺 ∣ PT1C60-1200S
應(yīng)用領(lǐng)域：掃描顯微鏡、晶圓定位、干涉測量、測量技術(shù)、生物技術(shù)、光學(xué)
- 運(yùn)動方向： θz 軸
- 標(biāo)稱行程： 6 mrad
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13162165677產(chǎn)品型號 | PT1C60-1200S | PT1C60-1200S -S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動自由度 | θz | θz | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 1200”[Sec] ≈ 6 mrad | 1200”[Sec] ≈ 6 mrad | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 1600”[Sec] ≈ 8.5 mrad | 1600”[Sec] ≈ 8.5 mrad | ±20% | - | |
分辨率 | 0.2 μrad | 0.2 μrad | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.1% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 1.5 ms | 10 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力 | 5 N | 5 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 1100 Hz | 1100 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 200 Hz | 200 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動方向剛度 | 1 N/μm | 1 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動方向推力/拉力 | 10N / 5N | 10N / 5N | ±20% | - | |
驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 60×60×15 mm | 60×60×15 mm | - | - | |
重量 | 105 g | 105 g | ±5% | Note 5 | |
Note：
1. 指實(shí)際分辨率，為PCS211S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動電壓輸出的紋波噪聲mVpp對應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。即型號為PCS211S壓電控制器的驅(qū)動電壓紋波噪聲為2mVpp，則對應(yīng)的壓電平臺的分辨率為0.1μrad）。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測得。
