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13162165677規(guī)格型號1 | PFR138-080U-S | PFR138-200U-S | PFR138-400U-S | 公差8 |
運動軸 | Z | Z | Z | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | - |
標稱行程范圍2（@0~+120V） | 80 μm | 200 μm | 400 μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 110 μm | 240 μm | 450 μm | ±20% |
分辨率3 | 0.7 nm | 2.0 nm | 3.5 nm | typ. |
最小移動步長4 | 3.0 nm | 7.0 nm | 15 nm | typ. |
線性誤差 | 0.1% | 0.1% | 0.15% | typ. |
重復定位精度（全行程） | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 20 μrad | 20 μrad | 20 μrad | typ. |
承載能力5 | 20 N | 20 N | 20 N | Max. |
諧振頻率（0g） | 400 Hz | 330 Hz | 180 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | 0.3 N/μm | 0.25 N/μm | 0.2 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | 30N / 20N | 30N / 20N | 30N / 20N | ±20% |
驅動機構 | PZT | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | 128.5×86.5 mm | 128.5×86.5 mm | 128.5×86.5 mm | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 220.5×138×27.3 mm | 220.5×138×27.3 mm | 220.5×138×27.3 mm | - |
重量7 | 670 g | 690 g | 750g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本體材質 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。
