壓電樣本掃描臺 ∣ PFR156-200U
應用領域：3D圖像、活細胞成像、自動對焦系統(tǒng)、表面分析、晶圓檢查
- 運動方向： Z軸
- 標稱行程： 200μm（閉環(huán)）
- 外形尺寸： 237×156×15mm
- 中空尺寸： 142×110mm
咨詢服務熱線：
13162165677產(chǎn)品型號 | PFR156-200U | PFR156-200U-S | 公差 | 備注 | |
運動自由度 | Z | Z | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 200 μm | 200 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 240 μm | 240 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 7 nm | 7 nm | typ. | Note 1 | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空載階躍時間 | 5 ms | 10ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 10 N | 10 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 340 Hz | 340 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 200 Hz | 200 Hz | ±20% | - |
運動方向剛度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
運動方向推力/拉力 | 50N / 20N | 50N / 20N | ±20% | - | |
驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 142×110mm | 142×110mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 237×156×15mm | 237×156×15mm | - | - | |
重量 | 700 g | 700 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - | - | |
