超精密加工平臺 ∣ PU1H80-030U
本系列產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)納米級精密切割/納米微加工等領(lǐng)域。 具有高剛性，即使在重載下也可以穩(wěn)定定位。廣泛應(yīng)用于精細(xì)切割和研磨、FTS 工作定位 、高負(fù)荷物體的精確定位、FTS快刀伺服車削系統(tǒng)
- 承載能力： X軸
- 結(jié)構(gòu)形式： 30μm
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13162165677產(chǎn)品型號 | PU1H80-030U | PU1H80-030U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動自由度 | X | X | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 30 μm | 30 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 40μm | 40 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 1 nm | 1 nm | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.1% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.1% | typ. | - | |
空載階躍時間 | 1 ms | 1.5 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 50 N | 50 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 3000 Hz | 3000 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 100g | 1900 Hz | 1900 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動方向剛度 | 10 N/μm | 10 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動方向推力/拉力 | 500 N / 200 N | 500 N / 200 N | ±20% | - | |
驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 80 ×90 ×35 mm | 80 ×90 ×35 mm | - | - | |
重量 | 1700 g | 1700 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
線纜長度 | 1.5m | 1.5m | ±10mm | - | |
本體材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | - | - | |
