壓電掃描臺(tái) ∣ PFR150-XY（Z）100U-S
應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
- 運(yùn)動(dòng)方向： XYZ軸
- 標(biāo)稱行程： 100 μm（閉環(huán)）
- 外形尺寸： 217×150×25mm
- 中空尺寸： 85×65 mm
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677規(guī)格型號(hào)1 | PFR150-XY（Z）100U-S | PFR150-XY（Z）200U-S | 公差8 | ||
運(yùn)動(dòng)軸 | X、Y | X、Y、Z | X、Y | X、Y、Z | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） | 80x80μm | 80x80x80μm | 200x200μm | 200x200x200μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 110x110μm | 110x110x110μm | 240x240μm | 240x240x240μm | ±20% |
分辨率3 | 0.7 nm | 0.7 nm | 2.0 nm | 2.0 nm | typ. |
最小移動(dòng)步長(zhǎng)4 | 3.0 nm | 3.0 nm | 7.0 nm | 7.0 nm | typ. |
線性誤差 | 0.1% | 0.1% | 0.15% | 0.15% | typ. |
重復(fù)定位精度（全行程） | 0.05% | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | Max. |
諧振頻率（0g） | 210 Hz | 210 Hz | 140 Hz | 140 Hz | ±20% |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | 0.2 N/μm | 0.2 N/μm | ±20% |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 40N / 20N | 40N / 20N | 40N / 20N | 40N / 20N | ±20% |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | PZT | PZT | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長(zhǎng)度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | 85×65 mm | 85×65 mm | 85×65 mm | 85×65 mm | - |
外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 217×150×25mm | 217×150×25mm | 217×150×25mm | 217×150×25mm | - |
重量7 | 1000 g | 1100 g | 1200 g | 1250 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。
4.指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長(zhǎng)值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長(zhǎng)值。
5.軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6.更長(zhǎng)的線纜長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢。
7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。
