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壓電物鏡掃描臺(tái) ∣ PFV-080U-S.D1

應(yīng)用領(lǐng)域:超分辨率顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、干涉測(cè)量、半導(dǎo)體測(cè)量技術(shù)、自動(dòng)聚焦。壓電物鏡定位器是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),基于高精度無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)做Z向直線運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)物鏡Z軸快速聚焦掃描。柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)具有優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向精度和穩(wěn)定性,響應(yīng)速度快、聚焦定位精度高。

  • 運(yùn)動(dòng)方向: Z軸
  • 標(biāo)稱行程: 80 μm(閉環(huán))
  • 控制方式: 25mm光學(xué)鏡片
  • 商品特性: 機(jī)械放大結(jié)構(gòu)
  • 結(jié)構(gòu)形式: 定制型

咨詢服務(wù)熱線:

13162165677

規(guī)格型號(hào)1

PFV-080U-S.D1

公差8

運(yùn)動(dòng)軸

Z

-

集成傳感器

SGS

-

標(biāo)稱行程范圍2(@0~+120V)

80 μm

±10%

最大行程范圍2(@-20~+150V)

110 μm

±20%

分辨率3

2.0 nm

typ.

最小移動(dòng)步長4

3.0 nm

typ.

線性誤差

0.03%

typ.

重復(fù)定位精度(全行程)

0.03%

typ.

角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))

10 μrad

typ.

承載能力5

3 N

Max.

諧振頻率(0g)

350 Hz

±20%

運(yùn)動(dòng)方向剛度

1.4 N/μm

±20%

運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力

110N / 15N

±20%

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

PZT

-

工作溫度范圍

-20~+80 ℃

typ.

線纜長度6

1.5 m

±10mm

螺紋適配

RMS, M25, M26, M27

-

外形尺寸(長×寬×高)

48 × 40 × 25 mm(含適配器)

-

重量7

150 g

±5%

PZT&Sensor連接器

LEMO

-

本體材質(zhì)

鋁、鋼

-

注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測(cè)得,欲了解更多信息,請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。

1.尾綴“-S”為閉環(huán),內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。

2.最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V,對(duì)于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V,更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS(1σ)值進(jìn)行測(cè)量和指定。

4.指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長值,它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長值。

5.軸向載荷,更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢,注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。

6.更長的線纜長度請(qǐng)咨詢。

7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值,檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。


圖片關(guān)鍵詞

在線預(yù)定