壓電掃描臺 ∣ PK1L130-100U
應用領域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術、生物技術、掃描和篩選
- 運動方向： X 軸
- 標稱行程： 100 μm（閉環(huán)）
- 外形尺寸： 130 ×130 ×30 mm
- 中空尺寸： φ30 mm【可定制】
- 承載能力： 20N
- 結構形式： 并聯放大式
咨詢服務熱線：
13162165677規(guī)格型號1 | PK1L130-050U-S | PK1L130-100U-S | 公差8 |
運動軸 | X | X | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | - |
標稱行程范圍2（@0~+120V） | 50 μm | 100 μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 65 μm | 130 μm | ±20% |
分辨率3 | 1.0 nm | 2.0 nm | typ. |
最小移動步長4 | 2.0 nm | 3.5 nm | typ. |
線性誤差 | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
重復定位精度（全行程） | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 20 N | 20 N | Max. |
諧振頻率（0g） | 680 Hz | 630 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | 3 N/μm | 3 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | 150N / 15N | 150N / 15N | ±20% |
驅動機構 | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | ?30 mm（標準型、可定制） | ?30 mm（標準型、可定制） | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 130 × 130 × 30 mm | 130 × 130 ×30 mm | - |
重量7 | 900 g | 900 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質 | 鋁 | 鋁 | - |
注：所有規(guī)格參數基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復度數據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數據值，檢測報告中會給出實際的測量數據值。
