壓電掃描臺 ∣ PK1L70-160U
應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
- 運(yùn)動方向： X 軸
- 標(biāo)稱行程： 160 μm
- 外形尺寸： 70×70×24 mm
- 中空尺寸： ?35mm
- 承載能力： X軸
- 結(jié)構(gòu)形式： 160μm
咨詢服務(wù)熱線：
13162165677產(chǎn)品型號 | PK1L70-160U | PK1L70-160U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動自由度 | X | X | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 160 μm | 160 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 210 μm | 210 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 6 nm | 6 nm | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空載階躍時間 | 5 ms | 20 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 240 Hz | 240 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 120 Hz | 120 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動方向剛度 | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動方向推力/拉力 | 60N / 7N | 60N / 7N | ±20% | - | |
驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸 | ?35mm | ?35mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 70×70×24 mm | 70×70×24 mm | - | - | |
重量 | 280 g | 280 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - | - | |
Note：尾綴帶“S”的為閉環(huán)，尾綴為空為開環(huán)。
1. 指實(shí)際分辨率，為PCS211S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計算得出。（另，驅(qū)動電壓輸出的紋波噪聲mVpp對應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。即型號為PCS211S壓電控制器的驅(qū)動電壓紋波噪聲為2mVpp，則對應(yīng)的壓電平臺的分辨率約為1.3nm）。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時間與壓電控制器的驅(qū)動電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗室環(huán)境測得。
