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13162165677? 測(cè)量原理
NMT-C (電容式非接觸位移傳感器)是基于理想平板電容原理設(shè)計(jì)研發(fā)的，被測(cè)物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。給傳感器一個(gè)持續(xù)穩(wěn)定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測(cè)物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過(guò)解調(diào)，可以輸出為模擬量信號(hào)。NMT-C 測(cè)量系統(tǒng)，分析平板電容的阻抗值， 該阻抗值與電容到被測(cè)物體的距離成正比關(guān)系。
? 電容式探頭的使用
如果測(cè)量任務(wù)要求極高的精度水平，電容式傳感器是最佳選擇之一。電容式測(cè)量原理的精度，在諸多非接觸式位移測(cè)量原理中名列前茅。電容式測(cè)量原理需要清潔的工作環(huán)境，避免介電常數(shù)ε的變化影響測(cè)量結(jié)果。電容式探頭可以測(cè)量所有導(dǎo)電材料。如果在真空環(huán)境下和潔凈室內(nèi)使用，傳感器和電纜被證明可以在潔凈室和真空環(huán)境下使用。如果需要，極低的氣體泄漏量使探頭可以在超真空環(huán)境(UHV)下使用。電容式測(cè)量系統(tǒng)，配備了獨(dú)特的主動(dòng)降噪電纜和主動(dòng)電場(chǎng)屏蔽環(huán)電容。測(cè)量信號(hào)的超高質(zhì)量源于雙層屏蔽結(jié)構(gòu)。測(cè)量系統(tǒng)擁有幾乎完美的電氣保護(hù)，使高精度測(cè)量成為可能。除此以外，電場(chǎng)屏蔽環(huán)電極為需要超高穩(wěn)定性，抗干擾以及精確的測(cè)量任務(wù)提供了一個(gè)完全均勻穩(wěn)定的測(cè)量電場(chǎng)。
規(guī)格型號(hào) | NMT-C1 | NMT-C1.OEM | NMT-C3 |
通道數(shù)量 | 1 | 1 | 3 |
量程范圍 | 200 μm | 200 μm | 200 μm |
傳感器類(lèi)型 | capacitive | capacitive | capacitive |
線性度 | ±0.1 μm | ±0.1 μm | ±0.1 μm |
靜態(tài)分辨率 | 0.0025 μm | 0.0025 μm | 0.0025 μm |
動(dòng)態(tài)分辨率（1Khz） | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm |
傳感器直徑 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
最小目標(biāo)直徑 | 10 mm | 10 mm | 10 mm |
靜態(tài)重復(fù)性 | 0.005 μm | 0.005 μm | 0.005 μm |
信號(hào)溫度穩(wěn)定性 | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C | ≤0.005 % FSO/°C |
靈敏度 | 50 mV/μm | 50 mV/μm | 50 mV/μm |
帶寬（-3db） | 2KHz | 2KHz | 2KHz |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 | ≤0.04 % FSO/月 |
傳感器線纜長(zhǎng)度 | 1.6 m | 1.6 m | 1.6 m |
傳感器輸出接口 | BNC | 歐式連接器端子 | SMB |
傳感器輸出電壓 | 0~+10VDC（測(cè)量范圍內(nèi)） | 0~+10VDC（測(cè)量范圍內(nèi)） | 0~+10VDC（測(cè)量范圍內(nèi)） |
輸出噪聲 | 3mVpp | - | 3mVpp |
工作溫度范圍 | +10~+50 | +10~+50 | +10~+50 |
顯示范圍 | -20V~+20V | - | - |
工作電壓 | 220VAC 50Hz±10% | ±15 VDC/±50 mA | 220VAC 50Hz±10% |
外形尺寸 | 105×200×55mm | 35×130×180mm | 3U-9.5“ |
傳感器連接器 | OUDU | OUDU | OUDU |
重量 | 520g | 400g | 2kg |
典型應(yīng)用
安裝方式
