為了跟上技術(shù)發(fā)展的步伐，前端制造設(shè)備和測量設(shè)備中的納米定位機構(gòu)和精密運動控制系統(tǒng)的精度必須達到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(nèi)（原子半徑量級）。傳統(tǒng)的定位系統(tǒng)已經(jīng)無法提供半導體產(chǎn)業(yè)所需的穩(wěn)定性和精度。在半導體領(lǐng)域，步研科技提供各種基于壓電陶瓷產(chǎn)品的解決方案，包括納米測量應(yīng)用的壓電納米臺、掩模對準的納米對準系統(tǒng)、水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺及多維度精密定位平臺。

摩爾定律一直在推動IC線寬和尺寸的變化。為了跟上技術(shù)發(fā)展的步伐，前端制造設(shè)備和測量設(shè)備中的納米定位機構(gòu)和精密運動控制系統(tǒng)的精度必須達到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(nèi)（原子半徑量級）。傳統(tǒng)的定位系統(tǒng)已經(jīng)無法提供半導體產(chǎn)業(yè)所需的穩(wěn)定性和精度。大規(guī)模集成電路制造中，印刷電路板上的布線密度越來越高。印刷電路板上線路的修復、線路連接質(zhì)量和表面質(zhì)量的評估、材料性能的檢測等許多工序都需要納米級定位系統(tǒng)來完成。納米定位系統(tǒng)還可以在納米加工和測量中用作掃描隧道顯微鏡的三維致動器；在集成電路制造中用作x 射線曝光機、圖形發(fā)生器等設(shè)備中的超精密定位裝置；在超精密加工中用作在刀具微進給裝置；微型機械制造中用于微型機器的封裝和裝配、微小圖形的修補等。

在半導體領(lǐng)域，使用基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長壽命壓電元件，用于定位的超高性能大行程納米定位平臺。其他的精密運動產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺，用于納米測量應(yīng)用的壓電柔性納米臺，用于掩模對準的納米對準系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺。電容納米測量傳感器可以測量亞納米尺度的運動并具有很高的帶寬，也大量應(yīng)用在半導體產(chǎn)業(yè)中。