激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、軍事探測(cè)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應(yīng)用，同時(shí)對(duì)其性能要求也越來(lái)越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度，掃描分辨率等諸多因素的制約，傳統(tǒng)的機(jī)械掃描方式越來(lái)越難以滿(mǎn)足要求。衛(wèi)星遙感技術(shù)和現(xiàn)代高技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)對(duì)衛(wèi)星照相機(jī)分辨率提出了越來(lái)越高的要求。衛(wèi)星在軌道上的高速飛行，以及太空中某些不確定因素對(duì)衛(wèi)星姿態(tài)的干擾是影響衛(wèi)星拍照分辨率的重要原因。如果在衛(wèi)星上裝備納米定位系統(tǒng)，控制光束的偏轉(zhuǎn)，可以抵消衛(wèi)星的飛行速度對(duì)照相機(jī)指向精度的影響，補(bǔ)償衛(wèi)星姿態(tài)擾動(dòng)引起的像移誤差。該方法也適用于許多民用場(chǎng)合，如航空攝影等。

通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的快速偏轉(zhuǎn)鏡具有很高的諧振頻率，掃描角度小、分辨率高、線(xiàn)性度好，一般應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)、光束跟蹤和穩(wěn)定等需要快速響應(yīng)和小角度偏轉(zhuǎn)的領(lǐng)域。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的偏轉(zhuǎn)鏡具有更快的加速度和更高的帶寬，具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導(dǎo)向，并且導(dǎo)向精確性?xún)?yōu)良，采用閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線(xiàn)偏轉(zhuǎn)、光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定等系統(tǒng)。步研科技公司研發(fā)設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)傾斜平臺(tái)系統(tǒng)，以及壓電驅(qū)動(dòng)的納米定位直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等，用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺(tái)，應(yīng)用于光學(xué)的精密定位與指向