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集成光學(xué)及干涉儀領(lǐng)域

2022-05-08 14:26:24 30

壓電納米定位技術(shù)為MEMS和光電子設(shè)備的測(cè)試與制造提供大量的創(chuàng)新解決方案,產(chǎn)品范圍從用于工業(yè)自動(dòng)化的自動(dòng)6D對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)到簡(jiǎn)單的實(shí)驗(yàn)室裝置。特有的壓電驅(qū)動(dòng)裝置使亞毫秒的快速掃描響應(yīng)成為可能。

干涉儀:壓電致動(dòng)器通過(guò)補(bǔ)償機(jī)械公差來(lái)調(diào)節(jié)反射鏡的位置。解決方案是緊湊的,沒(méi)有EMI,提供亞納米分辨率。在許多激光應(yīng)用中,壓電系統(tǒng)提供了光學(xué)鏡和激光的超精確定位。它們還可用于提供穩(wěn)定的窄線寬輸出,具有出色的長(zhǎng)調(diào)諧范圍或用于高級(jí)激光系統(tǒng)的頻率參考。

光學(xué)微操作微加工技術(shù)是本世紀(jì)90年代發(fā)展起來(lái)的一種新的“機(jī)械加工”方法,光學(xué)微處理系統(tǒng)主要部件是光學(xué)微機(jī)械手(光鑷和光刀)。它不同于傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法,它對(duì)微小“工件”(生物細(xì)胞、細(xì)胞器及其它微小粒子)的夾持、操作和微加工都是用光來(lái)實(shí)現(xiàn)的,是沒(méi)有任何機(jī)械接觸的“機(jī)械加工”。光鑷和光阱都能深入到物體(如細(xì)胞)的內(nèi)部去操控和加工細(xì)胞器等內(nèi)部結(jié)構(gòu)組分,而無(wú)需切開(kāi)物體,顯然這種微處理技術(shù)對(duì)物體的干擾和破壞要比通常的方法小的多,在傳統(tǒng)微機(jī)械難以勝任的微米量級(jí)粒子的處理方面,光學(xué)微處理技術(shù)恰能運(yùn)作自如,成為不可或缺的一項(xiàng)獨(dú)立的技術(shù)。在該領(lǐng)域,壓電納米定位產(chǎn)品的具體應(yīng)用包括光纖或光纖陣列的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、用于MEMS和多通道波導(dǎo)器件的測(cè)試系統(tǒng)等。