壓電掃描臺 ∣ PK3L80-200UB
應用領域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術、生物技術、掃描和篩選
- 運動方向： XYZ軸
- 標稱行程： 200μm x 200μm x 80μm
- 外形尺寸： 80 × 80 × 29 mm
- 中空尺寸： ?35 mm
咨詢服務熱線：
13162165677規(guī)格型號1 | PK3L80-200UA-S | PK3L80-200UB-S | PK3L80-200U-S | 公差8 |
運動軸 | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | - |
標稱行程范圍2（@0~+120V） | 200μm x 200μm x 30μm | 200μm x 200μm x 80μm | 200μm x 200μm x 200μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 240μm x 240μm x 40μm | 240μm x 240μm x 110μm | 240μm x 240μm x 240μm | ±20% |
分辨率3 | （XY）4.0nm、（Z）0.6nm | （XY）4.0nm、（Z）2.0nm | （XY）4.0nm、（Z）4.0nm | typ. |
最小移動步長4 | （XY）7.0 nm、（Z）1.0 nm | （XY）7.0 nm、（Z）3.0 nm | （XY）7.0 nm、（Z）7.0 nm | typ. |
線性誤差 | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
重復定位精度（全行程） | 0.02% | 0.02% | 0.02% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 6 N | 6 N | 5 N | Max. |
諧振頻率（0g） | （XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz | （XYZ）140 Hz、180 Hz、210 Hz | （XYZ）130 Hz、160 Hz、200 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | 30N / 10N | 30N / 10N | 30N / 10N | ±20% |
驅動機構 | PZT | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | ?35 mm | ?35 mm | ?35 mm | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 80 × 80 × 29 mm | 80 × 80 × 29 mm | 80 × 80 × 29 mm | - |
重量7 | 300 g | 330 g | 380 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本體材質 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復度數(shù)據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據值。
