規(guī)格型號(hào)1 | PT4V150-400S | PT4V150-400S-S | 公差 8 |
運(yùn)動(dòng)軸 | Z+θx、θy | Z+θx、θy | - |
集成傳感器 | - | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | (Z)200μm (θxθy)±412”[Sec] ≈±2mrad | (Z)200μm (θxθy)±412”[Sec] ≈±2mrad | ±20% |
最大行程范圍2 @-20~+150V） | (Z)240μm (θxθy)±516”[Sec] ≈±2.5mrad | (Z)240μm (θxθy)±516”[Sec] ≈±2.5mrad | ±20% |
分辨率3 | (Z)7nm、(θxθy) 0.07μrad | (Z)7nm、(θxθy) 0.07μrad | typ. |
最小移動(dòng)步長(zhǎng)4 | (Z)7nm、(θxθy) 0.07μrad | (Z)7nm、(θxθy) 0.07μrad | typ. |
線性誤差 | - | (Z)0.03%、（θxθy）0.01% | typ. |
重復(fù)定位精度（全行程） | - | 0.02% | typ. |
承載能力5 | 50 N | 50 N | typ. |
諧振頻率（0g） | （Z）350 Hz | （Z）350 Hz | ±20% |
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長(zhǎng)度 6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中孔尺寸 | 66×66mm | 66×66mm |
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外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | - |
重量7 | 925 g | 925 g | ±5% |
PZT&Sensor 連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。 1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2. 最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3. 分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用 RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。
4. 指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長(zhǎng)值，它主要由壓電控制器的 DAC 分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為 16-Bit 對(duì)應(yīng)的位移步長(zhǎng)值。
5. 軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6. 更長(zhǎng)的線纜長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢。
7. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
8. 公差中 Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。
