壓電納米臺 ∣ PSWL130-300UA
應用領域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術、生物技術、掃描和篩選。XY向壓電掃描臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動的XY向壓電納米定位掃描臺,壓電掃描臺內(nèi)部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向結構,采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統(tǒng)
- 運動方向： XZ軸
- 標稱行程： X:300 μm/Z:200 μm
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13162165677規(guī)格型號1 | PSWL130-300UA | PSWL130-300UA-S | 公差8 |
運動軸 | X、Z | X、Z | - |
集成傳感器 | - | SGS | - |
標稱行程范圍2（@0~+120V） | 300 μm x 200 μm | 300 μm x 200 μm （±150μm） | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 350 μm x 240 μm | 350 μm x 240 μm | ±20% |
分辨率3 | (X)10.0 nm、(Z)7.0 nm | (X)10.0 nm、(Z)7.0 nm | typ. |
最小移動步長4 | (X)10.0 nm、(Z)7.0 nm | (X)10.0 nm、(ZX)7.0 nm | typ. |
線性誤差 | - | 0.1% | typ. |
重復定位精度（全行程） | - | 0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 30 N | 30 N | Max. |
諧振頻率（0g） | （XZ）450 Hz、320 Hz | （XZ）450 Hz、320 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | （X）0.3 N/μm、（Z）2 N/μm | （X）0.3 N/μm、（Z）2 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | （X）100N / 100N、（Z）60N / 20N | （X）100N / 100N、（Z）60N / 20N | ±20% |
驅(qū)動機構 | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | - | - | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 130 × 130 × 25.5 mm | 130 × 130 × 25.5 mm | - |
重量7 | 930 g | 930 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。
