壓電掃描臺(tái) ∣ PFR260-200U
應(yīng)用領(lǐng)域:3D圖像、活細(xì)胞成像、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、表面分析、晶圓檢查、超分辨率顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、干涉測(cè)量、半導(dǎo)體測(cè)量技術(shù)。 壓電顯微掃描臺(tái)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),基于高精度無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),專為高分辨率顯微掃描系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計(jì)的納米定位平臺(tái),超大中心通孔和超薄外形設(shè)計(jì),可更好的集成于顯微掃描系統(tǒng)中。
- 運(yùn)動(dòng)方向: Z軸
- 標(biāo)稱行程: 200 μm
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13162165677