應(yīng)用領(lǐng)域：3D圖像、活細胞成像、自動對焦系統(tǒng)、表面分析、晶圓檢查、超分辨率顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、干涉測量、半導(dǎo)體測量技術(shù)。 壓電顯微掃描臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動,基于高精度無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),專為高分辨率顯微掃描系統(tǒng)應(yīng)用設(shè)計的納米定位平臺,超大中心通孔和超薄外形設(shè)計,可更好的集成于顯微掃描系統(tǒng)中。
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13162165677產(chǎn)品型號 | PFR260-400U | PFR260-400U-S | 公差 | 備注 | |
運動自由度 | Z | Z | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 400 μm | 400 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 500 μm | 500 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 14 nm | 14 nm | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空載階躍時間 | 10 ms | 50ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 200 Hz | 200 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 140 Hz | 140 Hz | ±20% | - |
運動方向剛度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
運動方向推力/拉力 | 120N / 15N | 120N / 15N | ±20% | - | |
驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 179×110mm | 179×110mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 260×164×25mm | 260×164×25mm | - | - | |
重量 | 1160 g | 1160 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - | - | |
